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扩散硅压力变送器的发展过程
发布时间:  2012/10/29 8:57:53

扩散硅压力变送器 20世纪90年代中期,美国Icsensors公司、Nova公司应用硅精蚀和硅晶片叠合两项尖端科技出产了新型扩散硅压力传感器并开发出具有精度高, 重复性小, 抗侵蚀的扩散硅压力变送器。
。 1993年长沙矿山研究院开发了具有极高性价比的SBP800型扩散硅压力变送器, 在首钢、长岭炼油厂等数十家大中型企业推广使用。过程压力通过隔离膜片、密封硅油传输到扩散硅膜片上、同时参考真个压力大气压作用于膜片的另一端。此种SBP800型压力变送器可以丈量316钢承载的任何液、气态介质。这样膜片两边的压差产生一个压力场, 使膜片的一部门压缩, 另一部门拉伸, 在压缩区和拉伸区分别由两个应变电阻片, 以感慨感染压力引起的阻值的变化, 从而将压力信号转换为电信号图。

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